行業(yè)分類
價(jià)值分類
數(shù)據(jù)記錄儀
Sensirion的產(chǎn)品在尺寸、精度和性能上存在優(yōu)勢(shì)，可以容易地集成到晶圓載體系統(tǒng)中，從而提高系統(tǒng)的可靠性和性能。
Sensirion如何設(shè)計(jì)解決方案
| 高精度、低成本 精確控制FOUP內(nèi)的氣體流動(dòng)可以防止損壞精細(xì)結(jié)構(gòu)。還避免了在清洗循環(huán)期間使用過量的氮?dú)猓瑥亩档统杀尽?/p> |
實(shí)時(shí)參數(shù)跟蹤 將傳感器集成在FOUP內(nèi)的各個(gè)位置可提高其性能并確保相同的存儲(chǔ)條件。 | |
利用數(shù)據(jù)優(yōu)化流程 進(jìn)一步改進(jìn)半導(dǎo)體工藝需要從晶圓廠的各類傳感器收集數(shù)據(jù)，以便實(shí)施良率學(xué)習(xí)和預(yù)測(cè)模型 |
